产品介绍-上海甚力电子科技有限公司

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产品介绍

新设备销售

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- THC、 CPC（For TEL DNS涂胶显影设备）
- STHC（For TEL DNS涂胶显影设备）
- Chiller（For TEL LAM AMAT 刻蚀设备）

停产设备及零部件的改造

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温控维修

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- 精密空调 THC&STHC维修（FO涂胶显影设备）
- 精密液调 Chiller维修（FO刻蚀量测设备等）
- 光刻机温控系统的维修

技术改造

电控：控制模块部件停产改造

- THC控制系统模组（CPC，NRC）
- DNS用复合机控制系统模组（3600）
- Chiller控制系统模组

刻蚀：Chiller冷冻机系统改造

-老机型冷冻机系统出现冰堵现象，导致控温异常；

半导体：THC冷冻机系统替代改造

- 采用环保制冷剂&变频技术；

液晶面板：软件升级&变频控制系统改造

- 6代线Chiller耗电量大，年度用电消耗量降低20%；

CMS智能监控系统

1数据采集：秒数采集、实时监测机况自身关键指标

1数据分析：算法+大数据分析识别异常

1报警预案：异常检测后触发报警，通知管理员，提前做预案，

1减少Queue time故障等待时间

STHC监控系统

光刻：STHC/Chiller数据监测&收集
实时监测机台运转状况及故障风险预评估，提前做预案，减少Queue time故障处理等待时间，保障产能

漏液侦测

光刻：漏液监测系统加装
异常情况下系统自动切断管路电磁阀，机台停止运转，触发漏液报警；减少泄露污染

VOC监测系统

刻蚀：VOC监测系统加装
监测Chiller冷冻机系统制冷剂泄露和氟化液循环管路漏液，触发系统报警；精准找到露点，减少环境污染

新设备代理销售

零部件代理

设备代理

氟化液代理